Parallelism between top and bottom: 5μm
Height difference of a matched pair: 5μm
Parallels per set: 20 pairs
Length (L): 100mm
Height (H) x Thickness (W):5*2*, 10×2, 15×2, 20x2, 6x3*, 11x3, 16x3, 21x3, 7x4*, 12x4, 17x4, 22x4, 8x5*, 13×5, 18×5, 23×5, 9×6, 14x6, 19×6, 24x6mm
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