Máy phát RF Plasma Advanced Energy APEX 3kW (3kW,13.56MHz)

- Tần số: 13.56MHz
- Công suất đầu ra RF
Công suất trực tiếp/ tỏa nhiệt (Fwd/Del) vào tải thuần trở 50 Ω: 3 kW
Công suất Fwd/Del: (2:1 VSWR): 2000 W
Công suất Fwd/Del: (3:1 VSWR): 1500 W
Sóng hài: Công suất định mức tối đa, -40 dBc chuyển tiếp/ tải khi hoạt động với tải thuẩn trở 50 Ω

- Độ chính xác đầu ra

Điều chỉnh công suất trực tiếp: ±1% điểm đặt hoặc ±0.1% công suất định mức tối đa, lấy giá trị lớn hơn, khi đo trong trở kháng thuần trở 50 Ω

Điều chỉnh công suất tải: ±3% công suất tải trong tải thuần trở hệ số VSWR 3:1

- Nhiệt độ môi trường hoạt động: Tối thiểu 5°C (41°F), tối đa 40°C (104°F)
- Nhiệt độ nước làm mát: Tối đa 35°C (95°F)
- Kích thước (Bao gồm đầu nối mặt sau):
132.59 mm (H) x 215.14 mm (W) x 425.96 mm (D)
5.22" (H) x 8.47" (W) x 16.77" (D)

Datasheet