Cảm biến nhiệt sợi quang Advanced Energy Luxtron m924 (-100~330°C, 4 kênh)

- 4 kênh
- Dải nhiệt độ: -100 ~ 330°C (phụ thuộc que đo)
- Độ phân giải nhiệt: 0.01°C
- Tốc độ đo: lên đến 50Hz/kênh
- Độ chính xác: ±0.05° (phụ thuộc que đo)
Môi trường
- Nhiệt độ hoạt động: -40 ~ 85°C
- Kích thước (H x W x L): 23.7 x 100.6 x 134.4 mm (bảng mạch chính)
- Vỏ: Vỏ kim loại
Giao tiếp:
- Analog đầu ra: 0 ~ 10 V hoặc 4 ~ 20 mA
- Đầu ra nối tiếp: RS232 và RS485
- Giao thức: ASCII và Modbus (RS485)
Điện:
- Công suất đầu vào: +5 ~ 24 VDC danh định tại 100mA

Datasheet

Accessories

Typical Applications
- Plasma etch electrostatic chuck monitoring
- Plasma shower monitor inside the chamber
- Temperature monitoring outside the chamber
- Wafer fab equipment temperature monitoring
- Semiconductor and FPD processing using RF and plasma