Máy phát Plasma Advanced Energy Paramount HF (6.0kW, 13.56MHz)

- Công suất RF: 1.5kW, 3.0kW, 6.0kW
- Tần số:
13.56 MHz
Điều chỉnh tần số ±5%
- Thời gian điều chỉnh: < 10 ms
- Độ chính xác công suất

Tại 50 Ω: ±1 W hoặc ±1% điểm đặt, lấy giá trị lớn hơn

Tại VSWR 3:1: ±1 W hoặc ±2% điểm đặt, lấy giá trị lớn hơn
- Dải tần số xung: 10 Hz ~ 100 kHz
- Giao tiếp: RS-232, Ethernet, DeviceNet®, Profibus, EtherCAT®

Datasheet