Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi

- Dải công suất Plasma: 1000 ~ 10000W
- Ứng dụng: Cung cấp khí từ xa làm sạch buồng hạ lưu, các quá trình ăn mòn phản ứng, và các qúa trình lắng đọng phản ứng
- Đánh lửa: 100 mTorr ~ 4.00 Torr, Ar < 1 slm
- Tương thích hóa học: Thiết bị này được thiết kế để sử dụng với các loại khí như Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3, hoặc O2: CxFy.
Các khí và các chất hóa học khác khác phải được nhà sản xuất duyệt trước khi sử dụng
Thông số kĩ thuật hoạt động NF3
- Dải dòng chảy: lên đến 8 slm tại 6 Torr
- Dải áp suất: lên đến 15 Torr tại 1 slm
- Hiệu suất phân ly NF3: > 98% phân ly tại 8 slm và 6 Torr tại 10kW như đã được đo bởi FTIR
Thông số hoạt động:
- Chu trình hoạt động: hoạt động liên tục trong dải hoạt động
- Tốc độ dòng chảy làm mát: 2 gpm @ 8 kW và 25°C (77°F) nước vào
- Không khí môi trường: +5 ~ +40°C (+41 ~ +104°F)
Yêu cầu điện AC
- Điện áp đầu vào: 200/208 VAC ±10% (180 ~ 229 VAC), không trung tính, 3 Φ với nền (Φ không nhạy)
- Tần số dòng: 50/60 Hz danh định, dải 47 ~ 63 Hz
- Dòng điện đầu vào: 30A danh định, tối đa 35A/Φ
- Trọng lượng: 28.7 kg (63.2 lb)
- Kích thước: H x W x D: 26.7 cm x 25.25 cm x 47.8 cm
- Độ ổn định: > 450,000 h MTBF