Nguồn Plasma Advanced Energy Xstream 8kW (1000 ~ 8000W)

- Dải công suất Plasma: 1000 ~ 8000 W
- Ứng dụng: Cung cấp khí từ xa làm sạch buồng hạ lưu, các quá trình ăn mòn phản ứng, và các qúa trình lắng đọng phản ứng
- Đánh lửa: 100 mTorr ~ 4.00 Torr, Ar < 1 slm
- Tương thích hóa học: Thiết bị này được thiết kế để sử dụng với các loại khí như Ar, O2, H2, N2, F2, H2O, NF3, hoặc O2: CxFy.
Các khí và các chất hóa học khác khác phải được nhà sản xuất duyệt trước khi sử dụng
Thông số kĩ thuật hoạt động NF3
- Dải dòng chảy: lên đến 6 slm tại 12 Torr
- Dải áp suất: lên đến 15 Torr tại 1 slm
- Hiệu suất phân ly NF3: > 98% phân ly tại 6 slm và 7 Torr tại 8kW như đã được đo bởi FTIR
Thông số hoạt động:
- Chu trình hoạt động: hoạt động liên tục trong dải hoạt động
- Tốc độ dòng chảy làm mát: 2 gpm @ 8 kW và 25°C (77°F) nước vào
- Không khí môi trường: +5 ~ +40°C (+41 ~ +104°F)
Yêu cầu điện AC
- Điện áp đầu vào: 200/208 VAC ±10% (180 ~ 229 VAC), không trung tính, 3 Φ với nền (Φ không nhạy)
- Tần số dòng: 50/60 Hz danh định, dải 47 ~ 63 Hz
- Dòng điện đầu vào: 27 A danh định, tối đa 31A/Φ
- Trọng lượng: 28.7 kg (63.2 lb)
- Kích thước: H x W x D: 26.7 cm x 25.25 cm x 47.8 cm
- Độ ổn định: > 450,000 h MTBF

Datasheet