Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Brooks Instrument 4850 (50 ml/phút – 40 lít/phút)

Hiệu suất:

Dải lưu lượng toàn thang: 50 ml/phút – 40 lít/phút (50 sccm – 40 slpm) (Tương đương N₂, ở 0°C tham chiếu, với chênh áp điển hình 50 psid)

Dải điều khiển: 2 – 100%

Độ chính xác lưu lượng: ±3.0% toàn thang (F.S.), tùy chọn ±1.0% toàn thang

Độ lặp lại lưu lượng: ±0.15% toàn thang

Thời gian đáp ứng:

Tín hiệu lưu lượng: <03 giây

Điều khiển lưu lượng: Thời gian ổn định <0.75 giây từ 0 đến 100% toàn thang (điển hình <0.5 giây cho mọi bước)

Hệ số nhiệt độ: ±0,1% toàn thang/°C (N₂)

Đánh giá:

Khí hỗ trợ: Không khí, N₂, O₂, Ar, He, H₂, CO₂, CO, N₂O, CH₄, C₃H₆ (Propen), C₃H₈ (Propan) (các khí khác theo yêu cầu)

Giới hạn hoạt động:

Áp suất: 0 – 10 barg (0 – 150 psig)

Nhiệt độ: 0 – 50°C

Độ ẩm: 5 đến 95% R.H. (môi trường xung quanh)

Chênh áp (đối với bộ điều khiển): 2000 Torr

Độ kín rò rỉ: tối đa 45 psid

Cơ khí:

Vật liệu cấu tạo: Các bộ phận tiếp xúc gồm thép không gỉ, fluoroelastomer, cảm biến nền silicon

Tuân thủ RoHS: Đáp ứng hoàn toàn theo Chỉ thị EU 2011/65/EU

Kích thước tổng thể: Tham khảo Hình 6 và 7

Kết nối quy trình: Ren vào/ra: ren 9/16” - 18 UNF, tham khảo Hình 6 để biết các kết nối quy trình có sẵn

Điện:

Kết nối điện:

Đầu nối D-sub 15 chân

Analog/RS232: Đầu nối D-sub 15 chân

Nguồn cấp: +15 Vdc ±10% hoặc +24 Vdc ±10% (Thiết bị chỉ sử dụng nguồn một chiều đơn)

Dòng điện khởi động: <1A

Yêu cầu công suất:

15 Vdc: Điển hình = 130 mA, MAX= 160 mA

24 Vdc: Điển hình = 150 mA, MAX = 200 mA

Đầu vào/ra tương tự: 0-5 Vdc hoặc 4-20 mA

Đầu vào/ra số: RS232 (tiêu chuẩn cho mọi tùy chọn I/O tương tự)

Tín hiệu ghi đè van:

Van điều khiển: đầu vào mở

Van đóng: <0.3 V; van mở: >4.8 V

Giao diện vận hành cục bộ (LOI):

Màn hình hiển thị: Khu vực hiển thị hiệu dụng: rộng 28mm, cao 11mm

Nội dung hiển thị: Màn hình chấm ma trận 8x2

Giới hạn vận hành:

Nhiệt độ: 0 – 50°C

Độ ẩm: 5 đến 95% R.H. (môi trường xung quanh)

Kết nối điện: 2 đầu nối D-sub 15 chân – một để kết nối với dòng 4800, một cho kết nối từ xa

Nguồn cấp: LOI tùy chọn đi kèm bộ đổi nguồn gắn tường với đầu cắm DC 3.5 mm. Bộ đổi nguồn hoạt động với điện áp đầu vào AC 90-240 V / 47-63 Hz. Hỗ trợ phích cắm châu Âu, Anh, Úc và Mỹ. Nguồn cũng có thể được cấp từ kết nối từ xa qua đầu nối D-sub.

Vật liệu cấu tạo: Vỏ nhựa ABS mạ đồng-niken (CU-Ni)

Tuân thủ RoHS: Đáp ứng đầy đủ theo Chỉ thị EU 2011/65/EU

Datasheet

User manual