Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Brooks Instrument 5850E (0.003, 30 slpm, 1500 psi / 100 bar)

- Dải Lưu Lượng và Đánh Giá Áp Suất:

Dải lưu lượng N2 (Đơn vị tương đương):

     Min. F.S.: 0.003

     Max. F.S.: 30 slpm

Áp suất (đơn vị psi/bar): 1500 psi / 100 bar

Mô-đun PED H (Danh mục): SEP

- Hiệu Suất

Độ chính xác lưu lượng: 1% toàn thang đo

Dải điều khiển: 50:1

Độ lặp lại và tái lập: 0.25% của tốc độ dòng chảy

Độ tuyến tính: Đã bao gồm trong độ chính xác

Thời gian phản hồi (Thời gian ổn định trong phạm vi ± 2% F.S. cho bước lệnh từ 0 - 100%): < 3 giây

Độ ổn định không: < ± 0.2% toàn thang đo mỗi năm

Hệ số nhiệt độ:

     Zero: < 0.075% toàn thang đo mỗi °C.

     Dải: < 1.0% toàn thang đo thay đổi từ hiệu chuẩn ban đầu trong phạm vi 10 - 50 °C (50 - 122 °F)

Hệ số áp suất (Pressure Coefficient): ± 0.3% mỗi psi (0 - 200 psi N2)

Độ nhạy đối với sự thay đổi góc (Attitude Sensitivity): < 0.5% toàn thang đo, sai lệch tối đa từ độ chính xác đã chỉ định sau khi hiệu chỉnh lại.

- Đánh Giá

Nhiệt độ vận hành: 5 - 65 °C (41 - 149 °F)

Chênh lệch áp suất tối thiểu (cho bộ điều khiển): 5 psi / 0.35 bar

Chênh lệch áp suất tối đa (cho bộ điều khiển): 50 psi / 3.45 bar

Độ kín rò rỉ (Bên ngoài): 1 x 10-9 atm. cc/sec He

- Cơ học

Loại van: Normally Closed (N.C.), Normally Open (N.O.), Meter

Vật liệu tiếp xúc chính: Thép không gỉ 316L, Thép hợp kim cao, Viton® fluoroelastomers, Buna-N, Kalrez® và Teflon®

- Điện

Kết nối điện: Cổng kết nối Sub D-Type 15 chân (DA-15P) hoặc đầu nối Card Edge (chỉ dành cho các mẫu điều khiển)

Tín hiệu vào (Setpoint): 0 đến 5 Vdc (Độ trở đầu vào 200 K ohms)

Tín hiệu đầu ra: 0 đến 5 Vdc vào tải 2000 ohms (hoặc lớn hơn)

Tín hiệu tham chiếu đầu ra: 5 Vdc ± 0.01 Vdc, tải tối đa 2 K ohm

- Yêu cầu nguồn điện

Van N.C. hoặc N.O. với lưu lượng < 2.5 slpm: 3.5 watts, +15 Vdc @ 35 mA, -15 Vdc @ 180 mA

Van N.O. với lưu lượng > 2.5 slpm: 10.5 watts, +15 Vdc @ 350 mA, -15 Vdc @ 350 mA