Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng Brooks Instrument 5851EMH (10 - 100 lpm, 85°C)

- Van: Van điều khiển thường đóng

- Dải nhiệt độ: Hiệu chuẩn nhiệt độ 85°C

- Hiệu suất:

Dải lưu lượng: 10 - 100 lpm (tương đương khí N₂)

Độ chính xác lưu lượng: ±1% toàn thang đo

Dải điều khiển: 5 - 100%

Độ lặp lại: ±0.25% giá trị đo

Tính tuyến tính: Đã bao gồm trong độ chính xác

Thời gian đáp ứng (thời gian ổn định trong ±2% cho bước lệnh từ 0 - 100%): < 3 giây

Đánh giá:

Dải nhiệt độ vận hành: 50 - 105°C (122 - 221°F)

Áp suất tối đa cho phép: 1 MPaG (145 psig)

Chênh lệch áp suất (bộ điều khiển): 50 - 350 kPa (7 - 50 psid)

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet