Bộ chuyển đổi áp suất chân không Brooks Instrument BVT100 (7.5 × 10⁻⁷ ~ 1000 Torr, DN16KF, 15 pin D Sub)

Đầu nối: DN16KF

Kết nối điện: 15 pin D Sub

Hiệu suất

Dải đo: 7.5 × 10⁻⁷ đến 1000 Torr

Dải đo cảm biến:

Dẫn nhiệt MEMS Pirani: 7.5 × 10⁻⁷ đến 1.125 Torr   

Kết hợp MEMS Pirani/Piezo: 1.125 đến 1.5 Torr

Màng điện trở MEMS Piezo: 1.5 đến 1000 Torr

Độ chính xác:

7.5 × 10⁻⁶ đến 7.49 × 10⁻⁵: ±25% giá trị đo

7.5 × 10⁻⁵ đến 7.49 Torr: ±5% giá trị đo

7.5 đến 74.9 Torr: ±1% giá trị đo

75 đến 599 Torr: ±0.5% giá trị đo

600 đến 824 Torr: ±0.25% giá trị đo

825 đến 1000 Torr: ±0.5% giá trị đo

Độ trễ:

7.5⁻⁴ đến 7.5 Torr: 1%

7.5 đến 900 Torr: 0.1%

Cảm biến nhiệt độ chân không:

Dải đo: -20 đến +85°C

Độ chính xác: ±1.5°C

Thời gian đáp ứng: < 20 ms

Bù nhiệt độ: 10 đến 50°C

Vật liệu tiếp xúc với môi trường chân không:Thép không gỉ 304, Kovar, thủy tinh, silicon, nickel, nhôm, SiO₂, Si₃N₄, vàng, Viton, keo epoxy ít khí, hàn, RO4305

Mặt bích/kết nối: Thép không gỉ SS 1.4307 / AISI 304L

Điện

Tín hiệu đầu ra tương tự (áp suất tuyệt đối): 0.5 -9.5 Vdc (1V mỗi thập kỷ) tiêu chuẩn, các options khác có thể lựa chọn/lập trình bởi người dùng¹

Độ phân giải đầu ra tương tự: 16 bit (150 µV)

Tốc độ cập nhật đầu ra tương tự: 124 Hz

Giao tiếp kỹ thuật số: RS232 / RS485

Rơ le thể rắn

Số lượng Rơ le: Tối đa 3

Phạm vi điểm đặt (tuyệt đối): 3.75×10⁻⁶ đến 1000 Torr

Phạm vi điểm đặt (atm. tương đối): -770 đến +375 Torr

Dòng chịu tải: 50 V, 100 mArms / mADC

Chứng nhận: 

Được UL công nhận : Hồ sơ E76270

CSA: Chứng chỉ 1175739

Chuẩn EN/IEC 60950-1   

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet

User Manual