Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí Brooks Instrument GF040-VX-D5 (3 sccm ~ 50 slm, 1/4" VCR, DeviceNet)

Kết nối: 1/4" VCR

Giao tiếp/Đầu nối：DeviceNet / Analog (Đầu ra 0-5 V); Tín hiệu và nguồn micro 5 chân / Tín hiệu analog 3 chân

Hiệu suất (Performance):

Phạm vi lưu lượng toàn phần (N2Eq.): 3 sccm ~ 50 slm

Độ chính xác lưu lượng: ±1% S.P. 35-100%, ±0.35% F.S. 2-35%

Độ lặp lại & tái lặp: <±0.2% giá trị cài đặt

Độ tuyến tính: ±0.5% toàn thang đo (đã bao gồm trong độ chính xác)

Thời gian đáp ứng (thời gian ổn định):

Van thường đóng: <1 giây (ổn định trong phạm vi 2% với bước điều chỉnh từ 0–10% đến 0–100%)

Van thường mở: <3 giây (ổn định trong phạm vi 2% với bước điều chỉnh từ 0–10% đến 0–100%)

Dải điều khiển: 2 – 100%

MultiFlo™: Tích hợp sẵn

Số lượng dải (bins): 10 dải

Ngắt van: <1% toàn thang đo

Độ ổn định điểm không: <+0.5% toàn thang đo mỗi năm

Hệ số áp suất: 0.03% mỗi psi (trong khoảng 0-50 psi với khí N2)

Độ nhạy với tư thế: <0.25% thay đổi dải khi nghiêng 90° sau khi hiệu chỉnh lại điểm không (với N2 ở 50 psi)

Tự động ngắt: Chức năng tự động ngắt đóng van GF0xx khi điểm cài đặt giảm xuống dưới 1.5% toàn thang đo

Đánh giá:

Nhiệt độ hoạt động: 5–50°C (41–122°F)

Áp suất làm việc tối đa: 150 psig (10 bar)

Áp suất kiểm tra thiết kế: 4000 psig (275 bar)

Dải áp suất chênh lệch:

3–860 sccm = 7–45 psid

861–7200 sccm = 15–45 psid

7201–50000 sccm = 25–45 psid

Lưu ý: Các ứng dụng sử dụng khí có mật độ cao như khí Argon yêu cầu thêm 10 psid áp suất chênh lệch

Độ kín rò rỉ bên ngoài: 1x10⁻⁹ atm. cc/giây với khí Helium (He)

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet

User Manual