Cảm biến áp suất Brooks Instrument GFF (±0.25%F.S)

Loại thân: Dòng chảy qua

Hiệu suất

Nhiệt độ hoạt động:

Bảo quản:-20ºF đến 180ºF (-29ºC đến 82ºC)

Bù trừ:-4ºF đến 140ºF (-20ºC đến 60ºC)

Áp suất nổ: 400% toàn dải đo

Áp suất thử nghiệm: 200% toàn dải đo lên đến 2.000 psi, 150% toàn dải đo cho các phạm vi cao hơn

Độ chính xác: 0.25% toàn dải đo (BFSL)

Thời gian đáp ứng: < 5 mili giây

Hệ số nhiệt độ Zero và Span (mỗi hệ số):

Với thang đo >100 PSI: ±0.02% toàn dải đo/ºF (-4ºF đến 140ºF, -20ºC đến 60ºC)

Với thang đo <100 PSI:: ±0.04% toàn dải đo/ºF (-4ºF đến 140ºF, -20ºC đến 60ºC)

Cơ khí

Vỏ: Thép không gỉ và nhựa polymer

Bộ phận tiếp xúc môi chất: Thép không gỉ 316L, tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F20

Độ hoàn thiện bề mặt: Tuân thủ tiêu chuẩn SEMI F19

Độ sạch: Theo tiêu chuẩn ASTM F1374-92 (2005)

Thể tích bên trong: 1.79 cc

Kết nối quy trình: Xem tùy chọn trong phần cấu hình sản phẩm

Khối lượng vận chuyển ươc tính: 0.70 lb (tương đương 0.32 kg)

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet

User Manual