Bộ điều khiển áp suất Brooks Instrument PC115XD (3-10000 sccm N₂Eq, ±1%)

Hiệu suất

Chế độ kiểm soát áp suất: Hạ lưu

Phạm vi toàn thang đo: 3-10000 sccm N₂Eq

Đọc áp suất

Độ chính xác: ±1% giá trị đo

Hệ số nhiệt độ bằng không: ±0.02% của F.S./ºC

Hệ số nhiệt độ khoảng: ±0.04% giá trị đo/ºC

Kiểm soát áp suất

Phạm vi đo: 2-100% F.S.

Độ chính xác: <10% F.S. ±0,2% F.S., 10-100% F.S. ±1% F.S.

Thời gian phản hồi: <1 giây (không bao gồm hằng số thời gian hệ thống)

Thông số định mức – Vận hành 

Dải nhiệt độ vận hành: 10 đến 50°C

Dải áp suất của cảm biến: 1000 Torr

Giới hạn quá áp của cảm biến: 2000 Torr

Áp suất chênh lệch: tối đa 45 psid

Độ kín rò rỉ (ra ngoài): 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/giây khí Heli (He)

Điện

Kết nối điện:

RS485/Tương tự qua đầu nối "D" 9 chân,

DeviceNet™ qua đầu nối "M12" 5 chân

Giao tiếp kỹ thuật số: RS485 (tùy thuộc vào mẫu),DeviceNet (tùy thuộc vào mẫu)

Cổng chẩn đoán/dịch vụ: RS485 qua giắc cắm 2.5 mm

Nguồn điện/Công suất tiêu thụ:

DeviceNet: Tối đa 545mA @ +11-25 Vdc, Tối đa 250 mA. @ 24 Vdc

RS485/Analog: Tối đa 6 Watt @ ±15 Vdc.(±10%) hoặc +24 Vdc (±10%)

Datasheet

User Manual