Bộ điều khiển áp suất Brooks Instrument PC115XU (3–5.000 sccm N₂Eq, ±1% giá trị đo)

Hiệu suất 

Chế độ điều khiển áp suất: Dạng ngược dòng 

Dải đo toàn phần: 3–5,000 sccm (tương đương khí N₂)

Đo áp suất 

Độ chính xác: ±1% giá trị đo được

Hệ số nhiệt độ điểm 0: ±0.02% toàn thang/°C

Hệ số nhiệt độ dải đo: ±0.04% giá trị đo/°C

Điều khiển áp suất (Pressure Control)

Dải đo: 2–100% toàn thang

Độ chính xác:

Dưới 10% toàn thang: ±0.2% toàn thang

Từ 10–100% toàn thang: ±1% toàn thang

Thời gian đáp ứng: <1 giây (không bao gồm hằng số thời gian của hệ thống)

Thông số định mức vận hành

Dải nhiệt độ vận hành: 10 đến 50°C

Dải áp suất của cảm biến: 1.000 Torr

Giới hạn quá áp của cảm biến: 2.000 Torr

Áp suất vi sai tối thiểu: 150 Torr

Độ kín rò rỉ (bên ngoài): 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/giây khí Heli (He)

Điện 

Kết nối điện:

RS485/Analog qua đầu nối 9 chân kiểu "D"

DeviceNet™ qua đầu nối 5 chân kiểu "M12"

Giao tiếp kỹ thuật số:

RS485 (tùy thuộc vào mẫu)

DeviceNet (tùy thuộc vào mẫu)

Cổng chẩn đoán/dịch vụ: RS485 qua jack 2.5 mm

Nguồn điện/Công suất tiêu thụ:

DeviceNet: Tối đa 545 mA @ +11–25 VDC, 250 mA tối đa @ 24 VDC

RS485/Analog: Tối đa 6 Watt @ ±15 VDC (±10%) hoặc +24 VDC (±10%)

Datasheet

User Manual