Bộ điều khiển áp suất Brooks Instrument PC125XD (2600-10000 sccm N₂Eq, ±1% of reading)

Hiệu suất

Cảm biến lưu lượng nhiệt tích hợp: Có khả năng giám sát lưu lượng

Dải đo toàn phần: 2,600–10,000 sccm (tương đương khí N₂)

Đo áp suất 

Độ chính xác: ±1% giá trị đo được

Hệ số nhiệt độ điểm 0: ±0.02% toàn thang / °C

Hệ số nhiệt độ dải đo: ±0.04% giá trị đo / °C

Điều khiển áp suất 

Dải đo: 2–100% toàn thang

Độ chính xác:

Dưới 10% toàn thang: ±0.2% toàn thang

Từ 10–100% toàn thang: ±1% toàn thang

Thời gian đáp ứng: <1 giây (không bao gồm hằng số thời gian hệ thống)

Thông số định mức – Điều khiển áp suất 

Dải đo: 2–100% toàn thang

Độ chính xác:

Trên 35%: ±1% giá trị đo

Từ 2–35%: ±0.35% toàn thang

Độ lặp lại: ±0.2% toàn thang

Hệ số nhiệt độ điểm 0: <0.05% toàn thang /°C

Hệ số nhiệt độ dải đo: <0.08% giá trị đo /°C

Độ ổn định điểm 0: <0.5% mỗi năm

Rò rỉ van nội bộ: <1% toàn thang

Thông số định mức – Vận hành 

Dải nhiệt độ vận hành: 10 đến 50°C

Dải áp suất của cảm biến: 1000 Torr

Giới hạn quá áp của cảm biến: 2000 Torr

Áp suất vi sai tối đa: 45 psid

Độ kín rò rỉ (bên ngoài): 1 × 10⁻¹⁰ atm·cc/giây khí Heli (He)

Điện 

Kết nối điện: Đầu nối M12 5 chân

Giao tiếp kỹ thuật số: DeviceNet (tùy thuộc vào mẫu sản phẩm)

Cổng chẩn đoán/dịch vụ: RS485 qua jack 2.5 mm

Nguồn điện/Công suất tiêu thụ:DeviceNet: Tối đa 545 mA @ +11–25 VDC, 250 mA tối đa @ 24 VDC

Datasheet

User Manual