Thiết bị đo lưu lượng khối lượng khí Brooks Instrument SLA5861 (15 - 150 slpm, EtherCAT, 1/4” VCR)

Giao tiếp số: EtherCAT  

Kết nối cơ khí : 1/4” VCR

Loại van: Không có

Giao tiếp tương tự: Không có

Phiên bản: RevB

Hiệu suất:

Dải lưu lượng toàn thang (N2, quy đổi tại 0ºC): 15 - 150 slpm

Độ chính xác lưu lượng – Thiết bị được chứng nhận ISO/IEC 17025: ±0.6% giá trị cài đặt (Set Point) trong khoảng 20 – 100% toàn thang đo, ±0.12% toàn thang đo khi <20%

Độ chính xác lưu lượng (chuẩn thông thường): ±0.9% giá trị cài đặt (20 – 100% F.S.), ±0.18% toàn thang đo (<20% F.S.)

Dải điều khiển (với N2, quy đổi): 100:1 đối với các lưu lượng toàn thang từ 1 – 50 slpm (50:1 đối với tất cả các lưu lượng toàn thang)khác

Độ lặp lại và tái lặp: 0.20% giá trị cài đặt

Độ tuyến tính: Đã bao gồm trong độ chính xác

Thời gian đáp ứng (ổn định trong ±2% toàn thang sau bước lệnh từ 0 – 100%): <1 giây

Độ ổn định điểm không: <+0.2% toàn thang mỗi năm

Hệ số nhiệt độ: <0.05% của F.S. trên °C Khoảng cách: <0.1% của S.P. trên °C

Hệ số áp suất: ±0.03% mỗi psi (0 – 200 psi với N2)

Độ nhạy theo tư thế: <0.2% toàn thang sai lệch tối đa so với độ chính xác quy định sau khi hiệu chỉnh điểm không

Đánh giá:

Nhiệt độ hoạt động: từ -14 đến 65°C (7 – 149°F)

Áp suất chênh lệch tối thiểu (đối với bộ điều khiển): 10 psi / 0.69 bar

Áp suất chênh lệch tối đa (đối với bộ điều khiển): 290 psi / 20.0 bar

Độ kín rò rỉ bên ngoài: 1x10⁻⁹ atm.cc/giây (với khí He)

Rò rỉ khi van đóng: <1% toàn thang (chuẩn); có thể cải thiện thêm với gói Biotech

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet

User Manual