Mô-đun cấp hơi nước siêu tinh khiết Brooks Instrument VDM3-1 (1/4” VCR Male, 3000sccm)

Đầu nối đầu vào: 1/4” VCR Male

Hiệu suất

Dải lưu lượng (H₂O): 3000sccm

Tỷ lệ điều chỉnh: 20:1

Thời gian đáp ứng: ≤ 2 giây (±2% điểm đặt)

Độ chính xác: ±1.0% điểm đặt (> 10% toàn dải ); ±0.2% toàn dải (điểm đặt toàn dải 5-10%)

Độ tuyến tính: ±0.5% của toàn dải

Độ lặp lại: < ±0.2% của toàn dải

Hệ số nhiệt độ: 0.05% toàn dải mỗi °C 

Ngắt van: <0.5% toàn dải (hơi nước)

Thông số điện

Giao tiếp: Analog hoặc EtherCAT

Kết nối: Cổng D-Sub 15 chân và hai cổng RJ-45 

Tín hiệu đầu vào:

Điểm đặt lưu lượng (0 đến 5 Vdc)

Khởi động/xả

Tín hiệu đầu ra:

Lưu lượng đầu ra (0 đến 5 Vdc)

Sẵn sàng sử dụng

Nguồn điện:

DC: ±15 Vdc ±5% @ 1.2 ampe

AC: 208 - 230 Vac, 50/60 Hz, công suất danh định 290 watt

Cổng chẩn đoán: Cổng Micro USB

Để biết thêm chi tiết, vui lòng xem datasheet

Datasheet

User Manual