Bộ điều khiển lưu lượng khí Fcon CUBEMFC-1050-4S2-10-AR (10SCCM)

Dải lưu lượng: 50SLM

Khí: Ar

Loại van: NO: Thường mở

Điều chỉnh lưu lượng: 5～100％ F.S.

Độ chính xác: ±2％ F.S [※±1％ F.S Tương thích] (được đảm bảo trong khoảng 15-35℃)

Tín hiệu cài đặt: 0.25～5VDC

Tín hiệu đầu ra: 0～5VDC

Độ lặp lại: ±0.2％ FS

Phản hồi: Phụ thuộc vào tùy chọn MFC

Độ chênh áp: Phụ thuộc vào tùy chọn MFC

Chịu áp suất: 1MPa(G)

Nhiệt độ hoạt động: 5-50℃ (Đảm bảo độ chính xác trong khoảng 15～35℃), ≦85％RH (Không ngưng tụ)

Tính toàn vẹn rò rỉ: 1×10-7Pa･m3/giây He

Nguồn điện điều khiển: 100-240VAC : ≦ 500mA

Giao tiếp: Analog : 0～5VDC

Vật liệu bề mặt ướt: SUS316L, PTFE, Cao su Fluoro

Vật liệu bịt kín: Cao su Fluoro

Hệ thống truyền động: Nhiệt (Không bao gồm đồng hồ đo lưu lượng khối)

Xử lý bề mặt: Gia công hoàn thiện

Phụ kiện tiêu chuẩn: 1/4in.SWL (tương đương)

Phụ kiện: Dây nguồn, Hướng dẫn sử dụng, Phiếu bảo hành

Datasheet