Máy đo độ dày và phân tích vật liệu FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-μ LD (Ø 60 µm halofree*)

Ống microfocus với cực dương vonfram; cực dương molypden có sẵn tùy chọn

Bộ lọc chính linh hoạt, có thể lựa chọn 4 chế độ

Ống mao quản dẫn tia X cho các điểm đo đặc biệt nhỏ (10 - 60 µm FWHM) với thời gian đo ngắn

Đầu dò drift silicon

Hệ thống camera với bộ zoom quang học 3× để định vị mẫu chính xác

Bàn đo tự động chính xác, có thể lập trình cho các phép đo tự động

Các ứng dụng

Đo độ dày lớp mạ Au / Pd / Ni / CuFe và Sn / Ni trong phạm vi micro và nanomet

Khả năng đo trên bảng mạch đã lắp ráp và chưa lắp ráp

Kiểm tra các lớp kim loại hóa cơ bản (kim loại hóa dưới va chạm, UBM) trong phạm vi nanomet

Đo các nguyên tố nhẹ, ví dụ: xác định hàm lượng phốt pho (trong ENEIG / ENEPIG) dưới lơp Au và Pd

Kiểm tra lượng chì còn sót lại trên đỉnh của thanh đồng

Kiểm tra thành phần nguyên tố của C4 và các vết hàn nhỏ hơn, cũng như các bề mặt tiếp xúc nhỏ trong ngành bán dẫn

Brochure