Máy đo độ dày và phân tích vật liệu FISCHER FISCHERSCOPE X-RAY XDV-µ PCB (Ø 20 µm halofree*)

Thiết bị đa năng để đo tự động trên các cấu trúc nhỏ nhất, nhiều lớp, lớp phủ chức năng và lớp phủ rất mỏng <0,1 µm

Ống microfocus với Anode làm bằng vonfram; Anode molypden tùy chọn

Hướng đo với phép đo từ trên xuống

Bộ lọc có 4 tùy chọn

Ống mao quản dẫn cho phép các điểm đo đặc biệt nhỏ Ø xấp xỉ. 20 hoặc 10 µm

Đầu dò cao cấp silicon 20 hoặc 50 mm² cho độ chính xác cao nhất trên các lớp mỏng

Bàn đo có thể lập trình cho bảng mạch in lên đến 613 × 610 mm, tùy chọn với chức năng hút chân không

Các ứng dụng

Đo độ dày lớp mạ Au / Pd / Ni / CuFe và Sn / Ni trong phạm vi micro và nanomet

Khả năng đo trên bảng mạch đã lắp ráp và chưa lắp ráp

Kiểm tra các lớp kim loại hóa cơ bản (kim loại hóa dưới va chạm, UBM) trong phạm vi nanomet

Đo các nguyên tố nhẹ, ví dụ: xác định hàm lượng phốt pho (trong ENEIG / ENEPIG) dưới lơp Au và Pd

Kiểm tra lượng chì còn sót lại trên đỉnh của thanh đồng

Kiểm tra thành phần nguyên tố của C4 và các vết hàn nhỏ hơn, cũng như các bề mặt tiếp xúc nhỏ trong ngành bán dẫn

Brochure