Đầu đo chân không bằng điện dung INFICON Cube CDGsci

Thời gian phản hồi: 100 ms

Giá trị đọc thấp nhất: 0.01% FS

Giá trị đọc thấp nhất được đề xuất: 0.05% FS

Nhiệt độ

Hoạt động (môi trường xung quanh): +10 … +40 °C

Lưu trữ: –10 … +50 °C

Điện áp cung cấp: +14 ... +30 V (dc) hoặc ±15 V (±5%)

Tiêu thụ điện năng

Trong khi làm nóng: ≤15 W (1000 ... 100 Torrr & 10 ... 1 Torr); ≤12 W (0.1 Torr)

Ở nhiệt độ hoạt động: ≤10 W (1000 ... 100 Torrr & 10 ... 1 Torr); ≤8 W (0.1 Torr)

Tín hiệu đầu ra (analog): 0 ... +10 V (dc)

Cấp bảo vệ: IP 40

Tiêu chuẩn

Tiêu chuẩn CE: EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 và RoHS

Chứng nhận ETL: UL 61010-1, CSA 22.2 số 61010-1

Tuân thủ SEMI: SEMI S2

Kết nối điện: D-sub, 15 chân, đực; 2 × LEMO Coax; Ethernet FCC

Điểm đặt

Số điểm đặt: 2 (SP1, SP2)

Tiếp điểm rơle: ≤30 V (dc) / ≤0.5 A (dc)

Độ trễ: 1 % FS

Cổng chẩn đoán

Giao thức: Trang web, dịch vụ REST, RS232-ASCII

Vật liệu tiếp xúc với chân không: gốm sứ (Al2O3), thép không gỉ (AISI 316L)

Thể tích bên trong: ≤4.6 cm3

Trọng lượng: 1760 … 1803 g

Brochure

Manual

Datasheet