Cảm biến điện dung INFICON Spot CDS500D

Thang đo đầy đủ (FS): 10 Torr - 1000 Torr

Độ chính xác: 0.5% giá trị đọc

Ảnh hưởng của nhiệt độ

on zero: 0.01% FS / °C

on span: 0.01% giá trị đọc / °C

Độ phân giải: 0.01% FS / °C

Độ ổn định lâu dài: 0.5% FS / năm

Giá trị đọc thấp nhất: 0.05% FS

Phạm vi đo: 0.1 ... 100% FS

Nhiệt độ

Hoạt động trong môi trường xung quanh: 0 ... 60 °C

Phạm vi bù: 10 ... 50 °C

Bảo quản: -20 ... 80 °C

Giới hạn độ ẩm môi trường xung quanh: < 80% RH không ngưng tụ

Áp suất cho phép tối đa: 400 kPa tuyệt đối

Áp suất nổ: 800 kPa tuyệt đối

Điện áp cung cấp: 5 ± 0.25 VDC

Điện áp dư cung cấp: ≤ 50 mVpp

Công suất tiêu thụ: < 0.05 W khi hoạt động

Giao diện kỹ thuật số: bus SPI

Tốc độ dữ liệu: 1, 2.5, 5, 10, 25, 100, 200, 250 ms (có thể lựa chọn trong quá trình đặt hàng)

Thời gian phản hồi: 2 ms (10 ... 90%)

Kết nối điện: Cáp JST hoặc Flex.

Vật liệu tiếp xúc với chân không: gốm sứ (Al2O3), thép không gỉ (AISI 316L)

Độ kín, tỷ lệ rò rỉ: < 1 E-9 mbar l/s

Vị trí lắp đặt: bất kỳ, khuyến nghị lắp theo chiều dọc

Datasheet

Manual