お得な情報を受け取る
数量割引、まとめ買い価格の更新、新製品情報をメールでお届けします。
登録することで、当社の利用規約およびプライバシーポリシーに同意したものとみなされます。
クイックサポート
認定専門家へ直接アクセス
数量割引、まとめ買い価格の更新、新製品情報をメールでお届けします。
登録することで、当社の利用規約およびプライバシーポリシーに同意したものとみなされます。
認定専門家へ直接アクセス
Flow range: 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM; 1,2,3,5SLM
Gases: Air
Valve type: NC: Normally close
Flow rate control range: 5-100％ F.S
Accuracy: ±2％ F.S [※±1％ F.S Compatible]
Setting signal: 0.25-5VDC
Output signal: 0-5VDC
Repeatability: ±0.2％ F.S
Response: ≦6sec
Pressure resistance: 1MPa(G)
Operating temperature: 5-50℃, ≦85％RH (Scope of accuracy guarantee : 15-35℃)
Leak integrity: 1×10-7Pa･m3/sec He
Drive power source: +15VDC: 60mA, -15VDC: 150mA
Communication: Analog 0-5VDC
Wetted surface material: SUS316L, PTFE, Fluoro-Rubber
Seal material: Fluoro-Rubber
Actuator system: Thermal
Standard fitting: 1/4in.SWL (equivalent)
Accessory: User's manual, Written Guarantee
