Cảm biến áp suất chân không Pirani MKS 317 (0.001-1000 Torr; 2.75 in. CF)

Dải đo: 1.0 x 10^-3 ~ 1.0 x 10^+3 Torr

1.3 x 10^-3 ~ 1.3 x 10^+3 mbar

1.3 x 10^-1 ~ 1.3 x 10^+5 Pascal

Dải điểm đặt: 2.0 x 10^-3 - 9.5 x 10^+2 Torr

2,7 x 10^-3 - 1,2 x 10^+3 mbar

2,7 x 10^-1 - 1,2 x 10^+5 Pascal

Độ phân giải: 1% nhóm mười được chỉ định

Độ tái lập: 5% áp suất chỉ định

Loại đầu nối: CF Flange

Đầu kết nối: 9-pin D-sub

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 50°C (32 - 122°F)

Nhiệt độ nung chân không: 100°C không hoạt động không cáp và thiết bị điện tử

Chất liệu tiếp xúc: thép không gỉ 304, niken 200, thủy tinh, bạch kim

Thể tích trong: tối đa 0.5 in3 (8.0 cm3)

Cáp: Dây cáp bọc đa lõi

Literature

Drawing