Cảm biến áp suất chân không Cold Cathode MKS 422 (2.75 in. CF; LEMO)

Loại cảm biến: Cold Cathode

Dải đo: 1.0 x 10^-11 ~ 1.0 x 10^-2 Torr

1.3 x 10^-11 ~ 1.3 x 10^-2 mbar

1.3 x 10-9 ~ 1.3 Pascal

Dải điểm đặt: 2.0 x 10^-10 ~ 9.5 x 10-3 Torr

2.7 x 10^-10 ~ 1.2 x 10-2 mbar

2.7 x 10^-8 ~ 1.2 Pascal

Độ phân giải: 1% nhóm mười được chỉ định, ngoại trừ 10% dưới 10-10 Torr và trên 10-3 Torr

Độ tái lập: 5% áp suất chỉ định

Đầu nối: LEMO

Nhiệt độ hoạt động: 0-250°C (32-482°F)

Nhiệt độ nung chân không: 0-250°C (32-482°F)

Thời gian phản hồi điểm đặt: 120 ms (<10ms với thẻ CL)

Chất liệu tiếp xúc: Thép không gỉ, hợp kim hàn bạc-đồng, gốm sứ nhôm, nhôm AL 6061, Elgiloy®, đồng OFHC®

Thể tích trong: tối đa 1.8 in3 (30 cm3)

Trọng lượng: 2.9 lbs. (1.3 Kg) với mặt bích CF

Literature