Cảm biến chân không Cold Cathode MKS 903 (Inverted Magnetron, 2.75 in. CF)

Loại cảm biến: Cold Cathode

Dải đo: 3.0 x 10^-10 - 5.0 x 10^-3 Torr

Dải điểm đặt: 1,0 x 10^-9 - 1,0 x 10^-3 Torr

Độ lặp lại: ~5% theo số đọc

Khí hiệu chuẩn: Không khí / Nitơ

Loại đầu nối: CF Flange

Kích thước mặt bích: 2,75 in.

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 50°C (32 - 122°F)

Nhiệt độ nung chân không: 400°C (752°F) không có thiết bị điện tử

Độ ẩm tương đối: tối đa 80% với nhiệt độ <31°C, giảm tuyến tính xuống 50% tối đa ở 40°C

Thời gian phản hồi điểm đặt: <50 msec (0 - 99%) cho Dp từ 5.0 x 10-8 - 3.0 x 10-4 Torr

Rơle: 1 điểm đặt rơle

Tiếp điểm rơ le: 1 Amp @ 30 VDC, điện trở

Yêu cầu nguồn điện: 14 - 30 VDC, tối đa 3 Watts.

Chất liệu tiếp xúc: thép không gỉ 304 và 302, nhôm, Inconel® X-750, thủy tinh, gốm sứ alumina

Chất liệu vỏ ngoài: nhựa ABS, tiêu chuẩn chống cháy UL94-5V (với lớp phủ dẫn điện)

Thể tích trong: tối đa 0.9 in3 (15.0 cm3)

Màn hình: Điểm đặt (màu đỏ), điện áp cao (màu vàng), công suất (màu xanh lá cây)

Điện áp đầu ra: 1.5 - 8.7 VDC, trở kháng đầu ra tối đa 30 Ohm

Tuân thủ: CE

Literature

Manual

Drawing