Bộ điều khiển lưu lượng nguồn hơi Mass-Flo® MKS 1150C (1 - 1000 sccm)

Phương pháp: Dòng nhớt qua Choked Orifice

Dải lưu lượng: 1 đến 1000 sccm (tương đương N2)

Dải điều khiển: 5,0 đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác điển hình: ± 5,0% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo

Độ phân giải: ± 0,1% Toàn thang đo

Nhiệt độ hoạt động: 30°C đến 100°C, có thể điều chỉnh

Dải nhiệt độ hoạt động tùy chọn: 90°C đến 150°C

Yêu cầu nguồn đầu vào của bộ điều khiển: ± 15 VDC (± 2%) tại 0,28 Amps

Yêu cầu nguồn đầu vào của bộ phận gia nhiệt: ± 15 VDC tại 1.5 Amps

Tín hiệu điểm đặt: 0-5 VDC từ <20K Ω

Tín hiệu đầu ra lưu lượng: 0-5 VDC into >10K Ω

Nhiệt độ đầu ra: 10 mV/°C

Tiếp điểm Rơle: 2 Amps tại 28 VDC; Điện trở 1 Amp tại 120 VAC

Đầu nối tín hiệu: 15-pin Type "D", RFI/EMI shielded

Đầu nối gia nhiệt: 9-pin Type "D", RFI/EMI shielded

Áp suất dòng tối đa: 35 psia

Loại đầu nối: Swagelok ® 8 VCR® male

Trọng lượng: 7,9 lbs (3,59 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing