Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng MKS 1179C (10 - 20000 sscm)

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo

Dải lưu lượng: 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm (tương đương N2)

Loại đầu nối: Swagelok® 4 VCR®, Swagelok 4 VCO®, ¼ "Swagelok®

Đầu nối I/O Analog: 9-pin hoặc 15-pin Type "D"

Vật liệu làm kín: Buna-N, Neoprene®, Kalrez®

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 đến 40 psid (10 đến 5000 sccm)

15 đến 40 psid (10000 đến 30000 sccm)

(với áp suất khí quyển tại đầu ra MFC)

Độ chính xác điển hình: ± 1,0% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian khởi động: 2 phút

Thời gian ổn định điển hình: <2 giây

Nhiệt độ hoạt động: 0° đến 50°C

Yêu cầu nguồn điện: ± 15 VDC (khởi động 200 mA, trạng thái ổn định 100 mA)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing