Bộ điều khiển lưu lượng khối lượng MKS 1640A (2-20 sccm)

Dải lưu lượng: 2-20 sccm (vật liệu SDS)

10-1000 sccm (vật liệu khác)

(Tương đương N2)

Áp suất đầu vào tối đa: 5 psig

Dải đo điều khiển: 5% đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác điển hình: Phụ thuộc vào khí/tốc độ dòng chảy

Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,02% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,2% giá trị đọc/°C

Thời gian khởi động: 30 phút

Thời gian ổn định điển hình: <5 giây

Nhiệt độ hoạt động: 0° đến 50°C

Yêu cầu nguồn điện: ± 15 VDC (± 5%) tại 200 mA

Tín hiệu đầu ra đầu vào lưu lượng: 0 đến 5VDC into >10K Ω

Vật liệu thấm ướt: 316L S.S., niken, Inconel®

Loại đầu nối: Swagelok® 4 VCR®

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing