Thiết bị đo lưu lượng khối lượng MKS 179C (10 sccm - 20 slm)

Dải lưu lượng: 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm (tương đương N2)

Loại đầu nối: Swagelok® 4 VCR®, Swagelok 4 VCO®, Swagelok® ¼ inch

Đầu nối I/O Analog: 9-pin hoặc 15-pin Type "D"

Áp suất đầu vào tối đa: 500 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 Torr ở 10 đến 20.000 sccm (với áp suất khí quyển tại đầu ra MFM)

Độ chính xác điển hình: ± 1,0% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,2% Toàn thang đo

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian khởi động: 2 phút

Nhiệt độ hoạt động: 0° đến 50°C

Yêu cầu nguồn điện: ± 15 VDC (khởi động 150 mA, trạng thái ổn định 50 mA)

Vật liệu thấm ướt: 316L S.S.

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing