Cảm biến áp suất chân không Hot Cathode MKS 355 (NW25 ISO-KF; RS485)

Dải đo tuyệt đối: 1.0 x 10-9 ~ 0.05 Torr

Giao tiếp kỹ thuật số: RS485

Kiểu: Mô-đun đo chân không

Màn hình hiển thị: Không

Rơ le: 1

Loại đầu nối: NW25 ISO-KF

Nhiệt độ hoạt động: 0-40°C môi trường xung quanh, không ngưng tụ

Nhiệt độ nung chân không tối đa: 200°C (bỏ thiết bị điện tử)

Nhiệt độ bảo quản: -40 - 70°C

Tiếp điểm rơle: 1 A ở tải điện trở 30 VDC, 0,5 A ở tải không cảm ứng 125 VAC

Yêu cầu nguồn điện: 24 VDC ± 15%, tối đa 12 Watts

Thể tích trong: 10.8 cm3 (0,66 in 3) đến cổng kết nối màn hình

Chất liệu tiếp xúc: thép không gỉ 304, alumin, tantali, vonfram, CuAg eutectic, Kovar

Vỏ ngoài và mặt bích điện tử: Nhôm ép đùn

Tuân thủ: CE, SEMI S2

Sợi Filament: Iridium phủ Yttria

Đầu kết nối: 9-pin type D male

Đơn vị: Torr

Giới hạn tia X: <3 x 10-10 Torr, <4 x 10-10 mbar, <4 x10-10 Pa

Literature

Drawing