Cảm biến áp suất chân không Micro-Ion® Plus MKS 356 (DeviceNet; NW25 ISO-KF)

Dải đo: 1 x 10^-9 - 50 Torr

1 x 10^-9 Torr -> khí quyển (không khí và N2)

Độ lặp: <5% số đọc từ 1 x 10^-8 - 50 Torr

Độ chính xác: <15% số đọc từ 1 x 10^-8 - 50 Torr

Sợi filament: Yttria-coated Iridium

Loại đầu nối: ISO-KF

Kích thước mặt bích: NW25

Giao tiếp: DeviceNet

Nhiệt độ hoạt động: 10 - 40°C môi trường xung quanh, không ngưng tụ

Nhiệt độ nung chân không: 150°C (bỏ thiết bị điện tử)

Nhiệt độ bảo quản: -40 - 70°C

Rơle: 2 cực đơn, rơle double-throw (SPDT)

Tiếp điểm rơ le: Điện trở 1 Amp @ 30 VDC, không cảm ứng

Yêu cầu nguồn điện: 24 VDC ± 15%, tối đa 26 Watts.

Chất liệu tiếp xúc: thép không gỉ 304, tantali, vonfram, niken, hợp kim sắt niken, thủy tinh borosilicat

Chất liệu vỏ ngoài: Nhôm ép đùn

Thể tích trong: 10.8 cm3 (0.67 in3) đến cổng kết nối màn hình

Đơn vị: Torr

Giới hạn tia: X <3 x 10^-10 Torr

Literature