Cảm biến áp suất chân không mô-đun Micro-Ion® ATM MKS 390 (2.75 in. CF; EtherCAT)

Dải đo tuyệt đối: 1.0 x 10-9 ~ 760 Torr

Dải đo chênh lệch: -750 ~ +250 Torr

Giao tiếp kỹ thuật số: EtherCAT

Kiểu: Mô-đun đo chân không

Màn hình hiển thị: Không

Rơ le: 2

Loại đầu nối: 2,75 in. CF

Nhiệt độ hoạt động: 10 - 40°C (50 - 104°F), không ngưng tụ

Nhiệt độ nung chân không tối đa: 105°C (221°F), tháo bỏ các thiết bị điện tử

Nhiệt độ bảo quản: -40 đến + 70 ° C (-40 đến + 158 ° F)

Yêu cầu nguồn điện: 24 VDC + 10% đến -15%, 1 Amp, 22 Watts danh định

Thể tích trong: 10.8 cm3 (0.65 in3)

Chất liệu tiếp xúc: thép không gỉ 304, tantali, vonfram, iridi phủ yttria, alumin, CuAg eutectic, Kovar, Kovar mạ vàng hoặc niken, thủy tinh borosilicat

Vỏ ngoài và mặt bích điện tử: Nhôm ép đùn phủ sơn tĩnh điện

Tuân thủ: CE

Sợi Filament: Iridium phủ Yttria

Thời gian phản hồi: <25 mili giây

Đầu kết nối: 15-pin subminiature-D male, hai RJ45

Đơn vị: Torr

Giới hạn tia X: <3 x 10-10 Torr, <4 x 10-10 mbar, <4 x 10-8 Pascal

Literature

Manual