Bộ điều áp tuyệt đối tích hợp MKS 640B (10 Torr; 200 sccm; Van nút Viton)

Thông số vật lý:

- Loại: Bộ điều khiển áp suất tuyệt đối 640B

- Dải áp suất: 10 Torr

- Độ phân giải áp suất: <100 msec

- Giới hạn quá áp của bộ chuyển đổi: 45 psia hoặc 2x Full Scale, tùy theo mức lớn hơn

- Lưu lượng: 200 sccm

Hiệu suất:

- Điều khiển áp suất:

+ Dải đo: >2 đến 100% toàn dải đo

+ Độ chính xác: ±0.2% toàn dải đo

+ Thời gian phản hồi: <1.0 giây (không bao gồm hằng số thời gian hệ thống)

Thông số kỹ thuật điện:

- Yêu cầu nguồn điện: ± 15 VDC ± 5%, tối đa 200 mA

- Tín hiệu đầu vào-đầu ra: tiêu chuẩn 0-5 VDC; tùy chọn 0-10 VDC

- Đầu nối: 15-pin male type “D”

- Chiều dài cáp: tối đa 100 ft. (30 m).

- Trip Points: Hai bóng bán dẫn open-collector

Định mức: 250 mA @ 30 VDC

Có thể điều chỉnh: 1 đến 100% toàn dải đo

Độ trễ: 3% toàn dải đo

Chỉ báo: Đèn LED xanh bật khi được kích hoạt

- Tuân thủ tiêu chuẩn: CE

Thông số khác:

- Loại đầu nối: 4 VCR male

- Chất liệu chân van: Kim loại

- Chất liệu van nút: Viton

- Kích thước: 1.5 x 4.88 x 5.5 in. (38.1 x 124 x 140 mm)

- Trọng lượng: 2.54 lbs. (1.15 kg)

Điều kiện môi trường

- Nhiệt độ hoạt động: 0° ~ 50°C (32° đến 122°F)

- Nhiệt độ bảo quản: -20 ° đến 80 ° C (-4 ° đến 176 ° F)

Literature

Manual