Bộ điều áp hạ lưu đo lưu lượng MKS 649B (10~1000 Torr)

Loại: Bộ điều khiển áp suất 649 với áp kế điện dung và máy đo lưu lượng khối lượng

Dải đo áp suất: 10, 20, 50, 100, 1000 mmHg (Torr) Toàn thang đo

Lưu lượng: 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000 sccm (Full Scale)

Trip Point:Hai bóng bán dẫn open-collector

Định mức: 250 mA @ 30 VDC

Có thể điều chỉnh: 1 đến 100% toàn dải đo

Độ trễ: 3% toàn dải đo

Chỉ báo: Đèn LED xanh bật khi được kích hoạt

Độ chính xác kiểm soát áp suất: ± 0,2% Toàn thang đo

Giới hạn quá áp của bộ chuyển đổi: 45 psia hoặc 2x Toàn thang đo, tùy theo mức lớn hơn

Áp suất chênh lệch tối đa: 150 psi (phù hợp với giới hạn quá áp của bộ chuyển đổi)

Độ chính xác của phép đo áp suất: ± 0,5% giá trị đọc (bao gồm độ tuyến tính, độ trễ và độ lặp lại)

Dải đo kiểm soát: 2 đến 100% Toàn thang đo

Thời gian phản hồi : 1,0 giây (không bao gồm hằng số thời gian hệ thống)

Nhiệt độ hoạt động: 0 đến 50°C (32 đến 122°F)

Nhiệt độ bảo quản: -20 đến 80°C (-4 đến 176°F)

Dải đo lưu lượng: 1% đến 100% Toàn thang đo

Độ lặp lại lưu lượng: ± 0,2% Toàn thang đo

Độ phân giải lưu lượng: 0,1% trên Toàn thang đo

Độ chính xác của dòng chảy: ± 1,0% của Toàn thang đo (bao gồm độ không tuyến tính, độ trễ và độ không lặp lại được tham chiếu đến 760 mmHg và 0 ° C)

Đầu nối: 15-pin male Type “D"

Thời gian phản hồi của đồng hồ đo: <100 msec

Thời gian khởi động đồng hồ đo: <2 phút (trong vòng 0,2% của trạng thái ổn định Toàn thang đo)

Tín hiệu đầu vào-đầu ra:

Áp suất: 0-10 VDC mặc định (người dùng có thể cài đặt thành 0-5 VDC)

Chiều dài cáp: tối đa 100 ft. (30 m).

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual