Cảm biến áp suất chân không Micro Pirani-Piezo Loadlock MKS 901P (NW16 ISO-KF; RS232/analog)

Dải đo tuyệt đối:1.0 x 10-5 ~ 1500 Torr

Dải đo vi sai: -760 đến +760 Torr

Giao tiếp kỹ thuật số: RS232

Kiểu: Đầu dò chân không

Cảm biến: MicroPirani ™ (Độ dẫn nhiệt MEMS) và vi sai Piezo (màng chắn MEMS)

Màn hình hiển thị: Không

Chất liệu vòng đệm: Viton

Đầu nối điện: 15-pin, Mật độ cao, D-sub male

Giao tiếp: RS232 / analog

Rơ le: 3

Loại đầu nối: NW16 ISO-KF

Hướng cài đặt: Mọi hướng

Dải điểm đặt: Tuyệt đối: 5,0 x 10-4 Torr đến 1000 Torr. Chênh lệch: -760 đến 100 Torr

Khí hiệu chuẩn: Không khí, Argon, Heli, Nitơ, H2, hơi H2O, CO2, Xenon, Neon

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 40°C (32 - 104°F)

Nhiệt độ nung chân không tối đa: 85°C (185°F)

Đầu ra Analog: 1-9 VDC (1 VDC/ nhóm mười)

Độ phân giải đầu ra Analog: 16 bit

Đầu ra Analog tùy chọn 2: 5 VDC = 0 Torr, 1 VDC / nhóm mười (Vi sai Piezo)

Tiếp điểm rơ le: 1 A @ 30VAC / DC, điện trở

Thời gian phản hồi rơ le: tối đa 100 msec

Yêu cầu nguồn điện: 9 - 30 VDC, tối đa <1,2 Watts

Chất liệu tiếp xúc: Silicon, SiO2, Si3N4, vàng, nhựa epoxy thoát khí thấp, thép không gỉ 304, Viton

Vỏ ngoài và mặt bích điện tử: thép không gỉ 304

Tuân thủ: CE

Độ phân giải đầu ra Analog 2: 12 bit

Tốc độ truyền Baud kỹ thuật số: 4800 - 230400 Baud

Literature

Manual

Drawing