Cảm biến áp suất chân không tuyệt đối Piezo MKS 910 (NW16 ISO-KF; RS232/analog)

Dải đo tuyệt đối:1.0 x 10-5 ~ 1500 Torr

Giao tiếp kỹ thuật số: RS232

Kiểu: Đầu dò chân không

Cảm biến: MicroPirani (Độ dẫn nhiệt MEMS), Piezo tuyệt đối (màng chắn MEMS)

Màn hình hiển thị: Không

Chất liệu vòng đệm: Viton

Đầu nối điện: 15-pin, Mật độ cao, D-sub male

Giao tiếp: RS232 / analog

Rơ le: 3

Loại đầu nối: NW16 ISO-KF

Hướng cài đặt: Mọi hướng

Dải điểm đặt: 5,0 x 10-4 - 1500 Torr, Tuyệt đối

Khí hiệu chuẩn: Không khí, Argon, Heli, Nitơ, H2, hơi H2O, CO2, Xenon, Neon, Khí độc lập trên 11 Torr

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 40°C (32 - 104°F)

Nhiệt độ nung chân không tối đa: 85°C (185°F)

Đầu ra Analog: 1-9,2 VDC, (1 VDC/ nhóm mười)

Độ phân giải đầu ra Analog: 16 bit

Tiếp điểm rơ le: 1 Amp @ 30 VAC / DC, điện trở

Thời gian phản hồi rơ le: tối đa 100 msec

Yêu cầu nguồn điện: 9 - 30 VDC, tối đa <1,2 Watts

Độ chính xác: 5 x 10-4 đến 1 x 10-3 Torr ± 10% theo số đọc, 1 x 10-3 đến 11 Torr ± 5% theo số đọc, 11 - 1000 Torr ± 0,75% theo số đọc

Độ lặp lại: 5 x 10-4 đến 10-3 Torr ± 8% theo số đọc, 10-3 Torr đến 11 Torr ± 2% theo số đọc, 11 - 1000 Torr ± 0,2% theo số đọc

Giới hạn quá áp: 2250 Torr (tuyệt đối)

Chất liệu tiếp xúc: Silicon, SiO2, Si3N4, vàng, nhựa epoxy thoát khí thấp, thép không gỉ 304, Viton

Vỏ ngoài và mặt bích điện tử: thép không gỉ 304

Tuân thủ: CE

Tốc độ truyền Baud kỹ thuật số: 4800 - 230400 Baud

Literature

Manual

Drawing

Other