Cảm biến áp suất chân không Cold Cathode-MicroPirani-Piezo MKS 974B (Touch-screen; 3 rơle; RS232)

Dải đo tuyệt đối: 1.0 x 10-8 ~ 1500 Torr

Dải đo vi sai: -760 ~ +760 Torr

Giao tiếp kỹ thuật số: RS232

Kiểu: Đầu dò chân không

Cảm biến: Cold Cathode, MicroPirani (Độ dẫn nhiệt MEMS) và Vi sai Piezo (Màng MEMS)

Màn hình: Màn hình cảm ứng

Chất liệu vòng đệm: Viton

Đầu nối điện: 15-pin, Mật độ cao, D-sub male

Giao tiếp: RS232 / analog

Rơ le: 3

Loại đầu nối: NW25 ISO-KF

Hướng cài đặt: Mọi hướng

Dải điểm đặt: Tuyệt đối: 1 x 10-8 Torr đến 1000 Torr, Chênh lệch: -760 đến +100 Torr

Khí hiệu chuẩn: Nitơ

Nhiệt độ hoạt động: 0 - 40°C (32 - 104°F)

Nhiệt độ nung chân không tối đa: 85°C (185°F)

Giới hạn quá áp: 1500 Torr

Thể tích trong: 21 cm3

Vỏ ngoài và mặt bích điện tử: thép không gỉ 304

Tuân thủ: CE

Độ ổn định Zero: ±0.1% Toàn thang đo (Toàn thang đo = 760 Torr) (typical)

Literature

Manual

Drawing