Hệ thống Plasma vi sóng MKS AX2600-AX2700 (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)
Hãng sản xuấtMKS(Xem thêm sản phẩm của hãng)
ModelAX2600-AX2700
Liên hệ
Thanh toán an toàn
Hỗ trợ chuyên nghiệp
Đổi trả dễ dàng
Giao hàng tận nơi
Công suất đầu ra Plasma tối đa: 1,8 hoặc 3,0 kW
Tần số: 2440 - 2470 MHz
Độ chính xác đầu ra: ± 1.5% (từ 20 - 100% công suất tối đa)
Yêu cầu nguồn điện: 200/208 VAC ± 10%, 3 pha, 50/60 Hz
Hóa chất: O2, N2, H2 O, Ar, NF3, CF4, C2 F6, NH3
Chất liệu: Thạch anh, Sapphire
Áp suất hoạt động: 2-8 Torr
Giao tiếp: Analog, RS485, DeviceNet ™ hoặc EtherCAT®
Tuân thủ: CE, ETL, SEMI S2-93A, SEMI F47
Thời gian khớp: <2 giây
Tổng lưu lượng khí: 1-7 slm
Cập nhật các ưu đãi mới nhất
Đăng ký nhận chiết khấu độc quyền, cập nhật giá sỉ và tin sản phẩm mới nhất ngay tại hộp thư của bạn.
Bằng cách đăng ký, bạn đồng ý với Điều khoản dịch vụ và Chính sách bảo mật của chúng tôi.
Hỗ trợ nhanh
Kết nối trực tiếp với đội ngũ chuyên gia của chúng tôi