Nguồn Plasma vi sóng Downstream MKS AX7610S (3 kW, Sapphire)

Công suất tối đa: 3.0 kW

Yêu cầu điện đối với đèn UV: 24 VDC, 1.0 Amp

Làm mát: Nước (Đầu nối Swagelok® 3/8 inch.) 0,35 gpm, 30°C Tối đa ở mức tối thiểu 30psid

Đầu nối đường dẫn khí: 1/4 hoặc 3/8 inch VCR®

Mặt bích đầu ra: KF40, KF50 hoặc tùy chỉnh

Cấp khí xử lý:

- Quartz Tube: O2, N2, H2O, Ar, non-fluorine based gases and perating pressure 1 to 8 Torr typical

- Sapphire Tube: O2, N2, H2O, Ar, NF3, CF4, C2, F6, and other Fluorine based gases

Kích thước: Dài 15,3 in (388 mm)

Trọng lượng: 10 lb. (4,5 kg)

Literature