Nguồn Plasma kết nối từ xa R*Evolution® MKS AX7696MKS-01 (10 slm)

Loại: Nguồn Plasma kết nối từ xa AX7696MKS-01

Cấp khí đánh lửa: 1.0 to 4.0 Torr, Gas: Trong quá trình xử lý khí

Khí xử lý: O2, N2., Tổng lưu lượng khí tối đa: 10 slm

Áp suất hoạt động: 0.5 ~ 4 torr

Chu kỳ hoạt động: 100%

Khóa liên động: Công tắc nhiệt bên trong và công tắc lưu lượng nước bên trong để bảo vệ khi làm mát không đủ

Vật liệu thấm ướt; 6061-T6 nhôm, Kalrez®, SiO2, 316L SS, Niken, Fluorosilicone

Giao tiếp: Analog, EtherCAT

Nguồn điện yêu cầu: 208 VAC, 50/60 Hz, 30A, 3 pha

Nước làm mát: 1,75 gpm, <30°C Môi trường xung quanh tối đa 40°C.

Kích thước: 15.7 x 13.7 x 12.14 inches (399mm x 348mm x 308mm nominal)

Trọng lượng: 81 lb. (38,6 Kg)

Tuân thủ: CE, SEMI F47, SEMI S2 (bao gồm các đánh giá S8, S10, S14), UL 61010-1, CAN / CSA-61010-1

Literature

Drawing