Nguồn Plasma kết nối từ xa Paragon® MKS AX7710MKS-01 (8 slm; NF3)

Loại: Nguồn Plasma kết nối từ xa

Cấp khí trong quá trình đánh lửa: 1 - 8 Torr @ 1 - 5 slm for Ar

Cấp khí sau đánh lửa: 1 - 10 Torr @ 1 - 8 slm

Đầu ra chất phản ứng hoạt động NF3/ O2: NF3 Mix: > 95% phân ly trong vùng hoạt động, 1-10T, 1-8 slm

Cấp khí đánh lửa: 100% Ar

Quy trình cấp & thải khí: Cửa nạp: KF40

Cửa xả: KF50

Chu kỳ hoạt động: tối thiểu 2 giây ~ 100% (thời gian xử lý> 45 phút)

Lưu lượng khí: 8 slm, NF3 Flow

Vật liệu thấm ướt: Lớp phủ PEO, Nhôm 6061-T6, Chemraz®, Alumina

Nhiệt độ hoạt động: Không khí xung quanh tối đa 40°C.

Yêu cầu nước làm mát: 2.0 gpm, <30°C

Giao diện điều khiển: EtherCAT và analog I/O 25 pin D

Yêu cầu nguồn điện: 208 VAC, 50/60 Hz, 35A, 3 pha (Khuyến nghị sử dụng 50A Service)

Kích thước: 18.40 x 9.50 x 10.50 inches (467 x 241 x 267 mm nominal)

Trọng lượng: 54 lb. (24.5 Kg)

Tuân thủ: NRTL, CE Safety (EN61010-1, UL 61010-1, CSA C22.2.61010-1), CE EMC (EN61326-1, EN61000-6-2, EN61000-6-4), Semi F47, Semi S2 Safety (S8, S10, S14)

Literature

Drawing

Other