Thiết bị đo lưu lượng khối lượng MKS CMA10B-MFM (15 - 14000 sccm)

Dải lưu lượng: 15-14.000 sccm (N2)

Áp suất đầu vào tối đa: 80 psig

Áp suất thử nghiệm: 232 psi / 16 bar

Áp suất nổ: 1000 psi / 70 bar

Dải đo: 0,1-100% của Toàn thang đo

Độ chính xác điển hình: ± 0,8% giá trị đọc/°C

Độ lặp: ± 0,2% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: ≤0.005% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: ≤0.06% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất: <0.025% giá trị đọc/psi

Thời gian khởi động: ≤1 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10-50 ° C (32-122 ° F)

Độ ẩm lưu trữ: 0-95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ bảo quản: 0-60 ° C (32-140 ° F)

Yêu cầu nguồn điện: 24 VDC @ (± 10%), <2 watt

Tín hiệu đầu ra đầu vào lưu lượng: 0-5 VDC (0-10 VDC, tùy chọn)

Đầu nối I/O Analog: 9-pin Type D

Trọng lượng: 0,45 lbs (204 gam) (VCR)

Tuân thủ: CE (Electrical Analog I/O)

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing