Bộ điều khiển tỷ lệ lưu lượng 2-zone DELTA™ II MKS DLT2A2 (500-10000sccm; 2-CH; DeviceNet)

Dải đo lưu lượng toàn thang đo: 500/500 sccm, 1000/1000 sccm, 2000/2000 sccm hoặc 10000/10000 sccm (tương đương N2)

Áp suất đầu ra hoạt động tối đa: 200 torr

Vi sai áp suất đầu ra cho phép tối đa: 50 torr (giữa Q1 và Q2)

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: <150 torr (<450 torr cho 10000/10000) (N2)

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Dải lưu lượng đầu vào: 5 đến 100% của kênh toàn thang đo (tương đương N2)

Dải kiểm soát tỷ lệ: 1: 1 đến 20: 1 và 20: 1 đến 1: 1

Độ chính xác tỷ lệ: 2% điểm đặt tỷ lệ

Độ chính xác (Typical): 0,3% điểm đặt tỷ lệ

Độ lặp & Độ tái lập tỷ lệ: 0,02% của kênh Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: 0,05% Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: 0,08% giá trị đọc/°C

Thời gian ổn định (Typical): <2 giây

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10 đến 40°C

Nhiệt độ bảo quản: -20 đến 65°C

Độ ẩm bảo quản: Độ ẩm tương đối 0 đến 95%, không ngưng tụ

Hiển thị nhiệt độ: 0 đến 100°C

Độ chính xác nhiệt độ: ± 2°C

Độ phân giải nhiệt độ: 0,1°C

Loại đầu nối: 4 VCR male, không xoay

Màn hình: 4 ký tự cho giá trị, 4 ký tự cho đơn vị

Trọng lượng: 5 lbs. (2,3 kg)

Đầu kết nối: I/O kỹ thuật số: Đầu nối vi mô 5-pin (DeviceNet), Analog: 9-pin D male, EtherCAT: 2 x RJ-45 (comm.) male, M8 male, 5 pin (power)

Yêu cầu nguồn điện: I/O kỹ thuật số: 11-25 VDC, Analog: +15 đến 24 VDC ± 5%

Mức tiêu thụ điện: 9 Watts

Giao tiếp: Analog, DeviceNet

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Manual

Drawing