Bộ điều khiển tỷ lệ lưu lượng 3-zone DELTA™ III MKS DLT3B (500-10000sccm; EtherCAT)

Dải đo lưu lượng toàn thang đo: 500, 1000, 2000 và 10000 sccm (mỗi kênh) (nitrogen equivalent-Q)

Áp suất đầu ra hoạt động tối đa: 200 Torr

Vi sai áp suất đầu ra cho phép tối đa: 50 Torr

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: <150 Torr; Ngoại trừ, <450 Torr với giá 10K/10K

Dải kiểm soát tỷ lệ: 0, 5 đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác tỷ lệ: ± 2% điểm đặt (đối với điểm đặt >10%)

Độ lặp: ± 0,3% điểm đặt

Độ phân giải: 0,02% của kênh toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% Toàn thang đo/°C (500 ppm)

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C (800 ppm)

Thời gian ổn định: <3 giây (Typical)

Thời gian khởi động: 60 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10-40°C

Nhiệt độ bảo quản: -20-65°C

Độ ẩm lưu trữ: 0-95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Hiển thị nhiệt độ: 0-100°C

Độ chính xác nhiệt độ: 2°C

Độ phân giải nhiệt độ: 0.1°C

Loại đầu nối: 4 VCR male, không xoay

Màn hình: 4 ký tự cho giá trị, 4 ký tự cho đơn vị

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Giao tiếp: EtherCAT

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing