Bộ điều khiển tỷ lệ lưu lượng 4-zone DELTA™ IV MKS DLTNA4 (500-10000sccm; DeviceNet)

Dải đo lưu lượng toàn thang đo: 500, 1000, 2000 và 10000 sccm (mỗi kênh) (nitrogen equivalent-Q)

Áp suất đầu ra hoạt động tối đa: 200 Torr ở lưu lượng tối đa qua tất cả các kênh

Vi sai áp suất đầu ra cho phép tối đa: 50 Torr với cùng phần trăm lưu lượng qua tất cả các kênh

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: <150 Torr, ngoại trừ, <450 Torr cho 10K/10K

Dải kiểm soát tỷ lệ: 0, 5 đến 100% Toàn thang đo

Độ chính xác tỷ lệ: ± 2% điểm đặt (đối với điểm đặt >10%)

Độ lặp & Độ tái lập tỷ lệ: ± 0,3% điểm đặt

Độ phân giải: 0,02% của kênh toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: 0,05% Toàn thang đo/°C (500 ppm)

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C (800 ppm)

Thời gian ổn định: <3 giây (phụ thuộc vào tương thích độ dẫn điện hạ lưu) (Typical)

Thời gian khởi động: 60 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10-40°C

Nhiệt độ bảo quản: -20-65°C

Độ ẩm bảo quản: 0-95% độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Độ chính xác nhiệt độ: +2°C

Độ phân giải nhiệt độ: 0,1°C

Loại đầu nối: 4 VCR male, không xoay

Đầu kết nối: Đầu nối vi mô 5 pin

Giao tiếp: DeviceNet

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Drawing