Bộ điều áp kép đo lưu lượng MKS DPC (10-100 Torr)

Loại: Bộ điều khiển áp suất kép

Phương pháp điều khiển: Áp kế điện dung áp suất tuyệt đối

Dải đo áp suất: 10, 20, 50, 100 Torr

Loại đầu nối: Tương thích Swagelok® 4 VCR® male

Độ chính xác điều khiển áp suất: ± 0,5% giá trị đọc

Giới hạn quá áp của bộ chuyển đổi: 45 psia hoặc 200% Toàn thang đo, tùy theo giá trị lớn hơn

Chế độ điều khiển: Điều chỉnh tích hợp Analog: 10 vị trí (0 đến 9)

Điều chỉnh tỷ lệ tương tự: 10 vị trí (0 đến 9)

Dải đo kiểm soát: 10-100% Toàn thang đo

Nhiệt độ hoạt động: 15 đến 50°C (59 đến 122°F)

Nhiệt độ bảo quản: -20 đến 80°C (-4 đến 176°F)

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Dải đo lưu lượng: 10, 20, 50, 100 sccm

Áp suất đầu vào tối đa: 45 psia

Độ chính xác của dòng chảy: ± 1.0% Toàn thang đo

Chiều dài cáp: 100 feet (tối đa)

Trọng lượng: 10,5 lbs. (4,8 Kg)

Kích thước: 10,46 inch (gồm phụ kiện) x 3,36 inch x 5,35 inch

26,56 cm (gồm phụ kiện)) x 8,53 cm x 13,59 cm

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature