Máy phát RF Plasma elite™ MKS ELITE-600FA-01 (600W; 13.56MHz)

Tần số: 13.56 MHz ±0.005%

Dải công suất động: 1 - 600 W

Công suất đầu ra: 600 W

Ổn định đầu ra: -20 dBc

Độ chính xác: ±2 W (1-100 W), ±2% (101W - 600W)

Nguồn AC đầu vào: 110 - 253 VAC, Một pha, 50Hz / 60Hz

Đầu nối RF: Loại N

Giao tiếp: 25 pin Analog, RS232

Giao tiếp kỹ thuật số từ xa: RS-232 qua DB9F

Cổng giao tiếp Analog: 25-pin DB25F

Làm mát: Bằng không khí

Nhiệt độ hoạt động: 5-40°C

Đầu nối đầu vào AC: Đầu vào tuân thủ IEC

Đèn báo LED: PWR và STAT trên bảng điều khiển phía sau

Watts Nominal into 1.1:1: 600 W

Watts Nominal into 1.5:1: 600 W

Watts Nominal into 2:1: 486 W

Watts Nominal into 3:1: 384 W

Watts Nominal into inf:1: 200 W

Kích thước: 2U, full rack: 17 x 15 x 3.5 inches (WxDxH)

3U, half rack: 8.5 x 15 x 5.25 inches (WxDxH)

Trọng lượng: 9.2 kg

Literature

Drawing