Bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số MKS GE50A (5 sccm ~ 50 slm)

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo

Dải đo lưu lượng: 5 - 50.000 sccm

Vật liệu làm kín: Viton, Buna-N, Neoprene hoặc Kalrez

Đầu nối Analog: D-sub 9 pin hoặc 15 pin

Áp suất đầu vào tối đa: 150 psig

Vi sai áp suất hoạt động thông thường: 10 ~ 5000 sccm; 10 ~ 40 psid

10000 ~ 20000 sccm; 15 ~ 40 psid

30000 ~ 50000 sccm; 25 ~ 40 psid

Áp suất thử nghiệm: 1000 psig

Áp suất nổ: 1500 psig

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho 20 đến 100% Toàn thang đo, ± 0,2% Toàn thang đo cho 2 đến 20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,3% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

Hệ số nhiệt độ Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,02% giá trị đọc/psi

Thời gian ổn định điển hình: <750 msec, điển hình trên 5% Quy mô đầy đủ

Thời gian khởi động: 30 phút

Nhiệt độ hoạt động: 10°C đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: 0 đến 95% Độ ẩm tương đối, không ngưng tụ

Nhiệt độ lưu trữ: -20° đến 80°C

Vật liệu làm ướt: 316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Niken

Kết cấu bề mặt: 16µ inch average Ra

Trọng lượng: 3 lbs (1,4 kg)

Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!

Literature

Other

Drawing