Máy phát RF Plasma MKS GHW-50 (5kW; 13.56MHz)

Tần số: 13.56MHz ±0.005%

Dải công suất động: 10 - 5000 W

Công suất đầu ra: 5.0 kW

Dải trở kháng tải: Không giới hạn

Đầu ra & độ méo sóng hài: <-40dBc

Dung sai quy định: >500 W: ±1.5% SP, <500 W: ±10.0 W

Nguồn AC đầu vào: 200/208 VAC, 3/PE~ (3W+G) 30 A/PHASE, 380/400 VAC, 3/PE~ (3W+G) 15 A/PHASE

Đầu nối RF: Loại N

Giao diện: Tiêu chuẩn: RS-232 Subminiature Type-D kỹ thuật số 9 chân; thẻ giao diện tùy chỉnh mua thêm có sẵn.

Giá treo: adapter EIA (Tiêu chuẩn) 19 inch được cung cấp

Hệ thống làm mát: Lưu lượng nước ở 2.0 Gal./Min. (7,6 LPM), tối thiểu tại 5°C đến + 35°C. Các kết nối được cung cấp để đáp ứng ren3/8 inch male (NPT).

Kích thước: Giá treo 8,72 inch x 19 inch x 22,1 inch (221 x 483 x 560 mm.)(HxWxD)

Trọng lượng: 91 lbs. (41,3 kg)

Literature